Modelul DST1 este un sistem compact de acoperire cu capacitatea de a acoperi semiconductori, dielectrici și metale (oxidante și neoxidante). Filmele subțiri, uniforme, cu granulație fină se formează într-un ciclu rapid.
Sistemul DST1 este echipat cu un catod magnetron cu diametrul catodului de 2-4 inch, în funcție de necesități. DST1-2 (2 inch) și DST1-4 (4 inch).
| Model | DST1-2 | DST1-4 | ||||||
| – DST1-2 este configurat ca un dispozitiv de acoperire prin pulverizare și acoperire cu fibră de carbon (opțional) cu capete interschimbabile într-un instrument compact, adecvat pentru prepararea probelor pentru analiza cu microscop electronic (SEM). – Acest dispozitiv de acoperire cu vid înaintat oferă pelicule uniforme de înaltă calitate, cu granulație fină, care sunt potrivite pentru probe care necesită o caracterizare de înaltă rezoluție și de înaltă calitate, cum ar fi FE-SEM, EDS / WDS, TEM și EBSD. – DST1-2 cu un catod de magnetron de 2 „, o sursă de alimentare de 300 W (cu opțional) cu casetă de potrivire, o sursă de alimentare de comutare de 80 W și o sursă de alimentare cu curent ridicat pentru evaporarea carbonului (opțional) poate fi utilizat pentru cercetare și diverse alte aplicații de film subțire. Carbon fiber evaporation. Pulsed or flash carbon fiber coating modes |
– DST1-4 este configurat cu un catod de magnetron de 4 ”, o cameră mare răcită cu apă, care este ideală pentru acoperirea unor mostre mari cu diametre de până la 15 cm sau mai multe mostre mai mici pe un diametru similar. – Timpul nelimitat de pulverizare îl face adecvat pentru depunerea de strat gros. – Sistemul este echipat cu sursă de alimentare de 800 W, sursă de alimentare de 300 W (opțional) cu casetă de potrivire. Sistemul poate depozita o gamă largă de materiale pe diferite suprafețe pentru aplicații subțiri de peliculă, cum ar fi pregătirea eșantioanelor Micro & Nano electronice și SEM |
|||||||
| Pompă vacuum | High vacuum turbo pump | |||||||
| Pompă de suport | Diaphragm backing pump | |||||||
| Vacuum | Full range vacuum gauge, < 2×10-6 torr, Precision Mass Flow meter (MFC) | |||||||
| Magnetron cathode | 2 inch | 4 inch | ||||||
| Obturator | electronic | |||||||
| Panou de control | ecran tactil 7” | |||||||
| Pulverizare | manuală/ automată | |||||||
| Suport probe | rotativ (în configurația standard) | |||||||
| Transfer date-grafic acoperire | USB, se pot stoca până la 300 de înregistrări în memoria internă | |||||||
| Cod | Descriere | |||
| DST1-2_01 | Carbon fiber evaporation head | |||
| DST1-2_02 | High current power supply | |||
| DST1_2-4_01 | Quartz crystal | |||
| DST1-2_03 | Planetary sample rotation | |||
| DST1_2-4_02 | Spare glass | |||
| DST1_2-4_03 | Sputtering targets | |||
| DST1-2_04 | Fiber carbon | |||
| DST1-4_01 | Substrate bias voltage | |||
| DST1-4_02 | Substrate heater | |||
Trebuie să fii autentificat pentru a publica o recenzie.
Recenzii
Nu există recenzii până acum.